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自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)

下載產(chǎn)品手冊
自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是德高潔獨立自主研發(fā),其工作原理是以水力自驅(qū)動三維自動旋轉(zhuǎn)噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。
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產(chǎn)品介紹

一、系統(tǒng)概述
 
自動化多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)

德高潔自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)主要用于西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內(nèi)壁的全自動清洗和烘干,該系統(tǒng)完全由德高潔獨立自主研發(fā)而成,并注冊了實用新型專利(專利號:ZL 2011 2 0266650.2);其工作原理是以水力自驅(qū)動三維自動旋轉(zhuǎn)噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。其后用經(jīng)過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,梯級加熱,保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露,可直接進入生產(chǎn)作業(yè)。

二、系統(tǒng)特點

1、技術(shù)能力強,設(shè)計合理,根據(jù)客戶需求,總結(jié)借鑒國內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,設(shè)計出本套系統(tǒng),實現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作?筛鶕(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設(shè)計。

2、設(shè)備性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。

3、自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。

4、適應(yīng)范圍廣:可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。

5、節(jié)能、環(huán)保、安全:提供了預(yù)熱(余熱蒸汽、余熱水或油)加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng),基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。

6、德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全,零配件充足。
 
多晶硅還原爐清洗裝置

三、清洗工藝

還原爐鐘罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走。

注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實踐經(jīng)驗解決閃爆等問題。
 
還原爐鐘罩清洗前

四、設(shè)備組成

1、高壓熱水清洗動力裝置1套

由高壓熱水清洗機及附件(1套),高壓水自驅(qū)動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動,1套)組成。

2、熱風(fēng)凈化烘干機組1套

進風(fēng)凈化等級:10萬級。

3、清洗烘干工作臺及管道1套

4、電氣控制系統(tǒng)1套

采用PLC+觸摸屏全自動控制,全套德高潔版控制軟件。

注:水和風(fēng)的加熱方式:電加熱,蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
 
還原爐鐘罩清洗后

五、施工條件

1、電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制柜。

2、蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點。

3、壓縮空氣:不小于流量3N m³/h,壓力0.6~0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣),指定接口點。

4、脫鹽水:可提供條件,不小于100 L/min,到指定接口點。

5、純水:不小于 100 L/min,到指定接點。

6、清洗劑:NaOH清洗液等,不小于2立方米。

7、占地面積:36~80平米(寬約6~7米,長6~12米)

8、三廢處理:洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。


技術(shù)參數(shù)
品牌:德高潔
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